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第323章 漂亮国的反扑计划(1 / 2)

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光刻机的另一个核心部件,是高精度的光学镜头。为了制造这些镜头,陈平安从显微镜的镜片入手,带领团队一步步提升加工精度。

陈平安与化工团队合作,研发了一种高纯度的光学玻璃,用以制造光刻机的镜头。

镜片的研磨技术

为了达到足够的精度,陈平安带领团队尝试了无数次手工研磨和抛光,最终成功制造出第一批能够满足曝光精度要求的镜片。

当第一套镜头被安装到光刻机上时,一位年轻的研究员激动地说道:“陈主任,您看,图像终于清晰了!”

陈平安看着显微镜下的曝光图案,点了点头,但语气依旧平静:“清晰只是第一步,下一步是确保曝光的稳定性。”

团队成员面面相觑。他们不明白,陈主任为什么总是这么冷静。但只有陈平安自已知道,光刻机的成功,仅仅是芯片制造的第一道关卡。

经过无数次失败和调整,光刻机终于迎来了第一次完整的曝光试验。

在实验室里,所有人屏住了呼吸,看着光刻机的扫描台缓缓移动,紫外光穿透掩膜版,将电路图案投射到硅片上。

“快看!图案出来了!”一位工程师激动地喊道。

所有人围过来,用显微镜观察硅片上的图案。虽然图案的边缘仍然有些模糊,但它已经具备了完整的电路结构。

陈平安松了一口气,微微一笑:“这是我们的第一步,但后面还有很长的路要走。”

其他设备的研发:有惊无险的突破

高纯度硅晶片的生产

光刻机的成功只是芯片制造的第一步,接下来的挑战是高纯度硅晶片的生产。

多晶硅提纯设备

在化工部门的努力下,第一台多晶硅提纯设备终于建成。团队通过氢氯化反应,成功提纯出99.999%的高纯度硅。

单晶拉制设备

单晶硅的拉制是另一个巨大的挑战。陈平安亲自带队,在高温炉旁连续工作了三天三夜,终于拉制出了第一根完整的单晶硅棒。

当这根晶体棒被切成薄薄的硅片时,现场所有人都鼓起了掌。“这是龙国第一片硅晶片!”一位工程师激动地喊道。

蚀刻机与其他设备的研发

与此同时,蚀刻机、涂胶机、显影机等设备的研发也在同步推进。

蚀刻机:团队通过高压等离子体技术,解决了蚀刻均匀性的问题。

涂胶机与显影机:通过反复试验,化工团队终于研发出了一种适合光刻工艺的光刻胶,并设计了第一台手动涂胶设备。

第一枚芯片的诞生:历史性的一天

经过多个月的努力,所有设备终于完成了调试,芯片制造的条件已经具备。陈平安决定,启动第一次完整的芯片制造流程。

制造流程:步步为营

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